Ярымүткәргечтә (FAB) чиста бүлмәдә чагыштырмача дымның максатчан бәясе

Ярымүткәргеч (FAB) чиста бүлмәдә чагыштырмача дымның максатчан бәясе якынча 30-50% тәшкил итә, тар маржа ± 1% рөхсәт итә, мәсәлән, литография зонасында - яки хәтта ерак ультрафиолет эшкәртүдә (DUV) зона - бүтән урында ± 5% ка иркенләп була.
Чөнки чагыштырмача дымлылык чиста бүлмәләрнең гомуми эшләвен киметә алырлык берничә факторга ия, шул исәптән:
1. Бактерия үсеше;
2. Персонал өчен бүлмә температурасы уңайлыгы;
3. Электростатик корылма барлыкка килә;
4. Металл коррозия;
5. Су парларының конденсациясе;
6. Литографиянең деградациясе;
7. Су сеңдерү.

Бактерияләр һәм башка биологик пычраткыч матдәләр (формалар, вируслар, гөмбәләр, миталар) чагыштырмача дымлы шартларда 60% тан артык шартларда үсәргә мөмкин. Кайбер бактерия җәмгыятьләре 30% тан артык дымлылыкта үсә ала. Компания дым 40% - 60% диапазонында контрольдә тотылырга тиеш, бу бактерияләр һәм сулыш юллары инфекцияләрен киметергә мөмкин дип саный.

40% - 60% диапазонындагы чагыштырма дым шулай ук ​​кеше уңайлыгы өчен уртача диапазон. Артык дымлылык кешеләрне туйдырырга мөмкин, 30% тан түбән дым кешеләрне коры, капланган тире, сулыш алу уңайсызлыгы һәм эмоциональ бәхетсезлек хис итә ала.

Highгары дымлылык чыннан да чиста бүлмә өслегендә электростатик корылмалар туплануны киметә - кирәкле нәтиҗә. Түбән дым корылма туплау өчен һәм электростатик агызуның потенциаль зарарлы чыганагы өчен идеаль. Нисби дым 50% тан артканда, электростатик корылмалар тиз тарала башлый, ләкин чагыштырмача дым 30% тан ким булмаганда, алар изоляторда яки нигезсез өслектә озак торырга мөмкин.

35% белән 40% арасындагы чагыштырма дым канәгатьләнерлек компромисс буларак кулланылырга мөмкин, һәм ярымүткәргеч чиста бүлмәләр, гадәттә, электростатик корылмалар туплануны чикләү өчен өстәмә контроль кулланалар.

Күпчелек химик реакцияләрнең тизлеге, шул исәптән коррозия процесслары, чагыштырмача дым арту белән артачак. Чиста бүлмә тирәсендәге һавага тәэсир иткән барлык өслекләр тиз.