Микро-электрон остаханә чагыштырмача кечкенә чиста бүлмә мәйданы һәм кире һава каналының радиусы чикләнгән кондиционер системасының икенчел кире һава схемасын кабул итү өчен кулланыла. Бу схема гадәттә кулланылачиста бүлмәләрфармацевтика һәм медицина ярдәме кебек бүтән тармакларда. Чиста бүлмә температурасының дымлылыгы таләпләрен канәгатьләндерү өчен вентиляция күләме, гадәттә, чисталык дәрәҗәсенә җитү өчен кирәк булган вентиляция күләменнән күпкә кимрәк, шуңа күрә тәэмин итү һавасы белән кире һава арасындагы температура аермасы кечкенә. Әгәр кире кайту һава схемасы кулланылса, тәэмин итү һава торышы белән кондиционерның чык ноктасы арасындагы температура аермасы зур, икенчел җылыту кирәк, нәтиҗәдә һава эшкәртү процессында салкын эсселек һәм энергия куллану күбрәк. . Әгәр икенчел кире һава схемасы кулланылса, икенчел кайту һавасы төп кире һава схемасын икенчел җылытуны алыштырырга мөмкин. Беренчел һәм икенчел кире һава коэффициентын көйләү икенчел җылылык көйләүгә караганда азрак сизгер булса да, икенчел кире һава схемасы кече һәм урта микро-электрон чиста остаханәләрдә кондиционерның энергия саклау чарасы буларак киң танылды. .
Мисал өчен ISO класс 6 микроэлектроника чиста остаханәсен алыгыз, 1 000 м2 чиста остаханә, түшәм биеклеге 3 м. Эчке дизайн параметрлары - температура tn = (23 ± 1) ℃, чагыштырма дым φn = 50% ± 5%; Дизайн һава белән тәэмин итү күләме 171,000 м3 / с, якынча 57 с-1 һава алмашу вакыты, һәм саф һава күләме 25 500 м3 / с (шуларның эскиз һава күләме 21 000 м3 / с, калганы уңай басым агып чыккан һава күләме). Чиста цехтагы җылылык йөге 258 кВт (258 Вт / м2), кондиционерның җылылык / дымлылыгы ε = 35 000 kJ / кг, һәм бүлмә кайту һавасының температурасы аермасы 4,5 is. Бу вакытта төп һава күләме
Бу хәзерге вакытта микроэлектроника сәнәгатенең чиста бүлмәсендә чистарту кондиционерының иң еш кулланыла торган формасы, бу төр системаны нигездә өч төргә бүлеп була: AHU + FFU; MAU + AHU + FFU; MAU + DC (Коры кәтүк) + FFU. Eachәрберсенең өстенлекләре, җитешсезлекләре һәм уңайлы урыннары бар, энергияне сак тоту эффекты, нигездә, фильтр, җылыткыч һәм башка җиһазларның эшенә бәйле.
1) AHU + FFU системасы.
Бу төр система режимы микроэлектроника тармагында “кондиционерны һәм чистарту этабын аеру ысулы” буларак кулланыла. Ике ситуация булырга мөмкин: берсе - кондиционер системасы саф һава белән генә эш итә, һәм эшкәртелгән саф һава чиста бүлмәнең барлык җылылык һәм дым йөген күтәрә һәм чыгарылган һаваны һәм уңай басым агып чыгу өчен өстәмә һава ролен башкара. чиста бүлмә, бу система шулай ук MAU + FFU системасы дип атала; Икенчесе - чиста бүлмәнең салкын һәм җылылык йөген канәгатьләндерү өчен саф һава күләме генә җитми, яисә саф һава ачык һавада чык ноктасына эшкәртелгәнгә, кирәкле машинаның энтальпия аермасы бик зур. , һәм ябык һаваның бер өлеше (кире һавага тиң) кондиционерны эшкәртү җайланмасына кайтарыла, җылылык һәм дымны эшкәртү өчен саф һава белән кушыла, аннары һава тәэмин итү пленумына җибәрелә. Калган чиста бүлмә кайту һавасы белән кушылып (икенчел кире һавага тиң), ул FFU агрегатына керә, аннары чиста бүлмәгә җибәрә. 1992 елдан 1994 елга кадәр бу кәгазьнең икенче авторы Сингапур компаниясе белән хезмәттәшлек итә һәм 10-тан артык аспирантны АКШ-Гонконг SAE Электроника Завод уртак предприятиясе проектлауда катнашырга этәрә, соңгы чистарту кондиционерын кабул иткән һәм вентиляция системасы. Проектта якынча 6000 м2 ISO 5 класслы чиста бүлмә бар (шуларның 1500 м2 Япония Атмосфера Агентлыгы белән төзелгән). Кондиционер бүлмәсе тышкы дивар буйлап чиста бүлмә ягына параллель урнаштырылган, һәм коридор янында гына урнашкан. Чиста һава, чыгарылган һава һәм кире һава торбалары кыска һәм шома урнаштырылган.
2) MAU + AHU + FFU схемасы.
Бу чишелеш гадәттә микроэлектроника заводларында очрый, күп температура һәм дым таләпләре, җылылык һәм дым авырлыгында зур аермалар, чисталык дәрәҗәсе дә югары. Summerәй көне саф һава суытыла һәм билгеләнгән параметр ноктасына дегмидлаштырыла. Гадәттә саф һаваны изометрик энтальпия сызыгы киселеш ноктасына һәм чиста бүлмәнең 95% чагыштырмача дымлылыгына, температура һәм дымлылыкка, яисә иң зур саф һава күләме булган чиста бүлмәгә эшкәртү урынлы. MAU-ның һава күләме һәр чиста бүлмәнең һаваны тулыландыру ихтыяҗларына карап билгеләнә, һәм һәр чиста бүлмәнең АХУсына торбалар белән кирәкле саф һава күләме буенча таратыла, һәм җылылык өчен эчке кире һава белән кушыла. һәм дымны эшкәртү. Бу агрегат барлык җылылык һәм дымлы йөкне һәм ул хезмәт иткән чиста бүлмәнең яңа ревматизм йөген күтәрә. Aәр АХУ белән эшкәртелгән һава һәр чиста бүлмәдәге һава пленумына җибәрелә, һәм эчке кире һава белән икенчел кушылганнан соң, ул бүлмәгә FFU бүлеге тарафыннан җибәрелә.
MAU + AHU + FFU чишелешенең төп өстенлеге шунда: чисталыкны һәм уңай басымны тәэмин итү белән беррәттән, ул һәр чиста бүлмә процессын җитештерү өчен кирәк булган төрле температураны һәм чагыштырмача дымны тәэмин итә. Ләкин, еш урнаштырылган AHU саны аркасында, бүлмә мәйданы зур, чиста бүлмә саф һава, кире һава, һава тәэмин итү торбалары крискросс, зур урын били, урнашу авыррак, хезмәт күрсәтү һәм идарә итү авыррак. һәм катлаулы, шуңа күрә кулланудан саклану өчен мөмкин кадәр махсус таләпләр юк.
Пост вакыты: 26-2024 март