BSLtech ярымүткәргеч SOLUTION
Ярымүткәргеч тармагында үз тәҗрибәңне үстерү еш кына югары ISO класслы (ISO 5 яки югарырак) чистарту бүлмәләрен яки ламинар агым шкафларын таләп итә. Сез UV сизгер процесслар белән эш итәсезме? Шуннан соң да BSL дөрес чистарту бүлмәсе белән тәэмин итә. Чистарту бүлмәләрендә югары сыйфатлы дивар бетү һәм UV фильтры белән яктырту бар. Фильтр системасында анти-статик (ESD) материаллар һәм анти-статик барлар кулланып, һавадагы статик корылма нейтральләшә.
Дегассировка кирәк булмаганда, BSL читтән торып булмаган материаллардан (PU) чиста бүлмә тәкъдим итә. Бу технология аэрокосмик индустриядә барлыкка килә.
Ярымүткәргеч тармагында типик процесслар:
Sub Субстратларны һәм кремний вафаларын саклау
● EUV тикшеренүләре
● Маска тигезләүчеләре
● Вакуум каплау, нечкә пленка
Applications Кушымталарны бастыру
● Оптика
Алгы һәм арткы процесслар